Keskeinen ero mikroanalyysin ja puolimikroanalyysin välillä on se, että mikroanalyysiä käytetään materiaalin analysointiin, jonka massa on alle 10 mg, kun taas puolimikroanalyysiä käytetään materiaalin analysointiin, jonka massa on noin 100-500 mg.
Mikro- ja puolimikroanalyysi ovat kahden tyyppisiä kvalitatiivisia analyysejä, mikä on materiaalin analyysi niiden ominaisuuksien sijasta niiden määrän sijaan. Mikroanalyysi tarkoittaa materiaalin analysointia, jonka hiukkaskoko on mikroluokassa. Mikroanalyysiin voidaan käyttää erilaisia menetelmiä. Puolimikroanalyysi on toisaalta kehitetty menetelmä mikroanalyysiksi.
